200112月11，沪微电科长春实验室将进次曝光系统实验。
再提，光刻机核两东西镜头光源，今场实验目，倒直接搞定镜头光源，，表强组合立才半，项目佬加盟更两月间。
即便2001光刻机技术攻坚比2019容易很，至快。今实验目，进步证明浸式光刻机展方向正确。
纪凯论证浸式光刻机性，更属理论结论。
比林本坚带理论找尼康候并搭理，理论终究理论，需升实际运。
次实验目进步证明方向正确，给更信，浸式光刻机突破整光刻机业瓶颈，搞定米霓虹搞定，果东西真，华夏领域科研员义极其重。
基础，更放投入更财力精力，特别让投入更话。
午9点，长春实验室内，台明显比光刻机粗糙很东西。进步验证研究方向正确性实际产台光刻机区别，需真完芯片光刻，需顺利采集数据即。
区别带设备巨区别，比精密机械方，实验需达纳米级化机械水平，甚至拿操控。
东西求，比光源质量。
9点整，实验准备始，孟谦则继续翻徐华笔记本。
徐华笔记本记录仅仅经历，跟孟谦笔记本帮，因记录技术积累。
比参与公司光刻机项目...
“20019月19
提升光刻机分辨率方法三，缩短波长，增加数值孔径，减K1因。段间，江带浸式光刻机概念，提升折射率，增加数值孔径。
更配合全新浸式光刻机概念，与长光合，激光器实巨突破。
研高功率193nm准分激光器，使氟气、氩气及氦气混合气体工介质，输ArF脉冲激光量424毫焦耳，功率基本稳定1%。激光器由内径8.4cm玻璃钢圆筒做，长94cm。
电极采张氏均匀场型电极，电极效平取宽5mm，电极长80cm，两电极间距离2.1cm。”
此长春实验室。
“王院士，供电系统已经准备完毕。”
“始实验。”
...
“200111月17，晴。
王院士加入让团队信增，30名科研员连续攻坚月，终光束稳定技术取果。
此次光束稳定系统包括光束测量光束转向两核功模块，推导两模块间光束传递矩阵，王院长非常胆决定搭建光电闭环控制系统，通引入已知光束偏移量，数据显示，系统指向稳态误差低±3μrad，位置稳态误差低±0.04mm，系统调整间80ms。
实验结果令振奋。”
“200111月28，晴。
由长光江共组建扩束系统组带消息，全新设计系统满足光束5-20m传输光路范围内需进透镜间隔调节，实光斑散角满足设计求，保证目标光束口径(28. 5±0. 5) mm范围内，X方向散角1. 2 mrad，Y方向散角1. 84 mrad。
该项研究将光刻机研产巨影响。”
此长春实验室。
“王院士，光源量稳定，光斑数据正常。”
“打遮光器。”
“。”
...
“200112月1，晴。
今江李教授提沿研究，针准分光源特性，提基光棒复眼实掩膜高均匀照明两方法。
针入射准分激光强度波性强度分布随机性，提采阵列型照明模式变换元件光束进变换，实各照明模式光瞳称性致性。
研究相干因调整系统存各误差源相干因、光瞳椭圆度、光瞳极平衡性、远度影响。”
“200112月5，晴。
清华，燕航及长光功合研制全新衍射光元件，极降低杂散光影响，全新算法将主研光刻机提供强力技术支持。”
此长春实验室。
“王院士，进数据采集。”
“始吧。”
“。”
...
“20011月8，晴。
义深远，物镜高数值孔径极系统波像差矛盾直光刻机物镜领域难点。
通非球元件反射元件配合，望突破技术难点，虽次元件基本霓虹定制，解决游难题，游元件研间问题。”
...
通徐华笔记本，孟谦基本解光刻机项目半研况主，虽半间，法实更全研产，核技术突破，华夏科研力量展，
光刻机设计核技术实太，光曝光系统涉及专利千，曾经世，核技术基本跟华夏什关系。
，华夏土，科研力量正光刻机领域根芽。
光刻机块骨头，正点点被华夏科研员啃食。
半，，两，五呢？
孟谦内翻滚，曾经世，机资格见证华夏老辈科研者实力，世，何其幸运，亲眼目睹。
午，送餐，孟谦翼翼将徐华笔记本放回抽屉。
“孟，几点？”徐华今五次问问题。
“11点半。”孟谦菜盒打，“至少晚才结果吧，徐老师再耐等等。”
午饭，晚睡孟谦迷觉，午三点，因被护士查房吵醒，孟谦简单洗脸继续等待。
傍晚五点，孟谦跟徐华终等两风风火火脚步声。
“孟，老徐！”梁志进门，脸已经写满答案。
孟谦悬终放，“梁老师具体况吧。”
梁志坐病床旁，脸亢奋，“浸式光刻机方向应该确实错，且今实验数据分析，浸式光刻机极光刻机工艺向推3-4代！”
徐华震惊，孟谦则配合震惊，“接研计划什？”
“挖！”
“嗯？什思？”孟谦很理解梁志思。
梁志解释，“整合力量整合，暴露某方才空白实，光刻机细分领域太，虽全部研，几相核领域放。
才空白核领域，头始培养肯定及，靠挖。”
“打算哪挖？”
“已经整理各高校校友资源，空白领域外应才。”
孟谦听明白梁志思，“回早回吧，叫回？”
“武，回。”
孟谦点头，梁志，质疑，“，件梁老师记办。”
“什？”
“申请专利。”
“放，次研究已经申请专利。”
“仅仅研究，围绕研究，申请专利申请，效果别搞浸式光刻机，水点头！”
“额...”梁志跟朱卫军视眼，“孟，...搞技术流氓？”
“啊，咱主流氓，跟流氓竞争，难跟讲理？讲理见鬼。
尽管耍流氓，老板，世骂，随便骂，反正谓。”
梁志跟朱卫军视眼，眼神交流儿，终决定按孟谦做。
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，门外传阵脚步声，梁志拎几菜三瓶二锅头进门。
梁志接酒菜，笑，“管怎，今喜，整点？”
“啊。”孟谦拒绝。
徐华脸委屈，“老梁，故馋？”
“哈哈哈，份替喝。”
虽表表算平静，实四内翻滚强烈，酒喝点喝高。
晚梁志留陪徐华，三则回酒店休息。
徐华点酒沾，梁志送三，取抽屉笔记本，笔写。
“200112月12，晴。
光刻机领域取跨代突破...”