200112月11,沪微电科长春实验室将进次曝光系统实验。
再提,光刻机核两东西镜头光源,今场实验目,倒直接搞定镜头光源,,表强组合立才半,项目佬加盟更两月间。
即便2001光刻机技术攻坚比2019容易很,至快。今实验目,进步证明浸式光刻机展方向正确。
纪凯论证浸式光刻机性,更属理论结论。
比林本坚带理论找尼康候并搭理,理论终究理论,需升实际运。
次实验目进步证明方向正确,给更信,浸式光刻机突破整光刻机业瓶颈,搞定米霓虹搞定,果东西真,华夏领域科研员义极其重。
基础,更放投入更财力精力,特别让投入更话。
午9点,长春实验室内,台明显比光刻机粗糙很东西。进步验证研究方向正确性实际产台光刻机区别,需真完芯片光刻,需顺利采集数据即。
区别带设备巨区别,比精密机械方,实验需达纳米级化机械水平,甚至拿操控。
东西求,比光源质量。
9点整,实验准备始,孟谦则继续翻徐华笔记本。
徐华笔记本记录仅仅经历,跟孟谦笔记本帮,因记录技术积累。
比参与公司光刻机项目...
“20019月19
提升光刻机分辨率方法三,缩短波长,增加数值孔径,减K1因。段间,江带浸式光刻机概念,提升折射率,增加数值孔径。
更配合全新浸式光刻机概念,与长光合,激光器实巨突破。
研高功率193nm准分激光器,使氟气、氩气及氦气混合气体工介质,输ArF脉冲激光量424毫焦耳,功率基本稳定1%。激光器由内径8.4cm玻璃钢圆筒做,长94cm。
电极采张氏均匀场型电极,电极效平取宽5mm,电极长80cm,两电极间距离2.1cm。”
此长春实验室。
“王院士,供电系统已经准备完毕。”
“始实验。”
...
“200111月17,晴。
王院士加入让团队信增,30名科研员连续攻坚月,终光束稳定技术取果。
此次光束稳定系统包括光束测量光束转向两核功模块,推导两模块间光束传递矩阵,王院长非常胆决定搭建光电闭环控制系统,通引入已知光束偏移量,数据显示,系统指向稳态误差低±3μrad,位置稳态误差低±0.04mm,系统调整间80ms。
实验结果令振奋。”
“200111月28,晴。
由长光江共组建扩束系统组带消息,全新设计系统满足光束5-20m传输光路范围内需进透镜间隔调节,实光斑散角满足设计求,保证目标光束口径(28. 5±0. 5) mm范围内,X方向散角1. 2 mrad,Y方向散角1. 84 mrad。
该项研究将光刻机研产巨影响。”
此长春实验室。
“王院士,光源量稳定,光斑数据正常。”
“打遮光器。”
“。”
...
“200112月1,晴。
今江李教授提沿研究,针准分光源特性,提基光棒复眼实掩膜高均匀照明两方法。
针入射准分激光强度波性强度分布随机性,提采阵列型照明模式变换元件光束进变换,实各照明模式光瞳称性致性。
研究相干因调整系统存各误差源相干因、光瞳椭圆度、光瞳极平衡性、远度影响。”
“200112月5,晴。
清华,燕航及长光功合研制全新衍射光元件,极降低杂散光影响,全新算法将主研光刻机提供强力技术支持。”
此长春实验室。
“王院士,进数据采集。”
“始吧。”
“。”
...
“20011月8,晴。
义深远,物镜高数值孔径极系统波像差矛盾直光刻机物镜领域难点。
通非球元件反射元件配合,望突破技术难点,虽次元件基本霓虹定制,解决游难题,游元件研间问题。”
...
通徐华笔记本,孟谦基本解光刻机项目半研况主,虽半间,法实更全研产,核技术突破,华夏科研力量展,
光刻机设计核技术实太,光曝光系统涉及专利千,曾经世,核技术基本跟华夏什关系。
,华夏土,科研力量正光刻机领域根芽。
光刻机块骨头,正点点被华夏科研员啃食。
半,,两,五呢?
孟谦内翻滚,曾经世,机资格见证华夏老辈科研者实力,世,何其幸运,亲眼目睹。
午,送餐,孟谦翼翼将徐华笔记本放回抽屉。
“孟,几点?”徐华今五次问问题。
“11点半。”孟谦菜盒打,“至少晚才结果吧,徐老师再耐等等。”
午饭,晚睡孟谦迷觉,午三点,因被护士查房吵醒,孟谦简单洗脸继续等待。
傍晚五点,孟谦跟徐华终等两风风火火脚步声。
“孟,老徐!”梁志进门,脸已经写满答案。
孟谦悬终放,“梁老师具体况吧。”
梁志坐病床旁,脸亢奋,“浸式光刻机方向应该确实错,且今实验数据分析,浸式光刻机极光刻机工艺向推3-4代!”
徐华震惊,孟谦则配合震惊,“接研计划什?”
“挖!”
“嗯?什思?”孟谦很理解梁志思。
梁志解释,“整合力量整合,暴露某方才空白实,光刻机细分领域太,虽全部研,几相核领域放。
才空白核领域,头始培养肯定及,靠挖。”
“打算哪挖?”
“已经整理各高校校友资源,空白领域外应才。”
孟谦听明白梁志思,“回早回吧,叫回?”
“武,回。”
孟谦点头,梁志,质疑,“,件梁老师记办。”
“什?”
“申请专利。”
“放,次研究已经申请专利。”
“仅仅研究,围绕研究,申请专利申请,效果别搞浸式光刻机,水点头!”
“额...”梁志跟朱卫军视眼,“孟,...搞技术流氓?”
“啊,咱主流氓,跟流氓竞争,难跟讲理?讲理见鬼。
尽管耍流氓,老板,世骂,随便骂,反正谓。”
梁志跟朱卫军视眼,眼神交流儿,终决定按孟谦做。
【推荐,野果阅读追书真,载 www.yeguoyuedu.com 快试试吧。】
,门外传阵脚步声,梁志拎几菜三瓶二锅头进门。
梁志接酒菜,笑,“管怎,今喜,整点?”
“啊。”孟谦拒绝。
徐华脸委屈,“老梁,故馋?”
“哈哈哈,份替喝。”
虽表表算平静,实四内翻滚强烈,酒喝点喝高。
晚梁志留陪徐华,三则回酒店休息。
徐华点酒沾,梁志送三,取抽屉笔记本,笔写。
“200112月12,晴。
光刻机领域取跨代突破...”