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百五十九章

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200112月11,沪微电科长春实验室将进次曝光系统实验。

再提,光刻机东西镜头光源,场实验,倒直接搞定镜头光源,强组合立才半项目佬加盟更间。

即便2001光刻机技术攻坚比2019容易很快。今实验步证明浸式光刻机展方向正确

纪凯论证式光刻机性,理论结论。

比林本坚带理论找尼康搭理,理论终究理论,实际运

次实验步证明方向正确,浸式光刻机突破光刻机瓶颈,搞定米霓虹东西真华夏领域科研义极其重

基础更放投入更财力精力,特别投入更话。

午9点,长春实验室内,明显比光刻机粗糙很东西。进验证研究方向正确性实际台光刻机区别芯片光刻顺利采集数据即

区别设备区别,比精密机械方,实验纳米级化机械水平,甚至拿操控

东西,比光源质量。

9点整,实验准备始,孟谦则继续翻笔记本。

笔记本记录仅仅经历,跟孟谦笔记本记录技术积累。

参与公司光刻机项目...

“20019月19

提升光刻机分辨率方法,缩短波长,增加数值孔径,减K1因间,江式光刻机概念,提升折射率,增加数值孔径。

配合全新式光刻机概念,与长光激光器突破。

高功率193nm准分激光器,使氟气、氩气及氦气混合气体介质,ArF脉冲激光量424毫焦耳,功率基本稳定1%。激光器由内径8.4cm玻璃钢圆筒做长94cm。

电极采张氏均匀场型电极,电极效平取宽5mm,电极长80cm,两电极间距离2.1cm。”

长春实验室。

“王院士,供电系统已经准备完毕。”

始实验。”

...

“200111月17,晴。

王院士加入让团队信增,30名科研员连续攻坚月,终光束稳定技术果。

此次光束稳定系统包括光束测量光束转向两模块,推导模块光束传递矩阵,王院长非常决定搭建光电闭环控制系统,通引入已知光束偏移量,数据显示,系统指向稳态误差低±3μrad,位置稳态误差低±0.04mm,系统调整80ms。

实验结果令振奋。”

“200111月28,晴。

由长光组建扩束系统组带消息,全新设计系统满足光束5-20m传输光路范围内透镜间隔调节,实光斑散角满足设计求,保证目标光束口径(28. 5±0. 5) mm范围内,X方向散角1. 2 mrad,Y方向散角1. 84 mrad。

该项研究将光刻机研影响。”

长春实验室。

“王院士,光源量稳定,光斑数据正常。”

“打遮光器。”

。”

...

“200112月1,晴。

李教授提沿研究,针准分光源特性,提光棒复眼掩膜高均匀照明方法。

入射准分激光强度强度分布随机性,提阵列型照明模式变换元件光束进变换,照明模式光瞳称性致性。

研究相干因调整系统误差源相干因、光瞳椭圆度、光瞳极平衡性、远影响。”

“200112月5,晴。

清华,燕航及长光功合研制全新衍射光元件,极降低杂散光影响,全新算法将主研光刻机提供强技术支持。”

长春实验室。

“王院士,数据采集。”

始吧。”

。”

...

“20011月8,晴。

义深远,物镜高数值孔径系统波像差矛盾光刻机物镜领域难点。

非球元件反射元件配合,望突破技术难点,虽元件基本霓虹定制解决游难题,游元件间问题。”

...

笔记本,孟谦基本光刻机项目,虽间,法实更全产,技术突破,华夏科研力量

光刻机设计技术实,光曝光系统涉及专利,曾经世,技术基本跟华夏关系。

华夏,科研力量正光刻机领域芽。

光刻机骨头,正被华夏科研员啃食。

,两,五呢?

孟谦内翻滚,曾经世,资格见证华夏老辈科研者实力,世,何其幸运,亲眼目睹。

午,送餐,孟谦翼翼将徐笔记本放回抽屉

“孟,几点?”华今五次问问题

“11点半。”孟谦菜盒打,“至少结果吧,徐老师再耐等等。”

午饭孟谦迷觉,午三点,因被护士查房吵醒,孟谦简单洗脸继续等待。

傍晚五点,孟谦跟徐华终风风火火脚步声。

“孟,老徐!”梁志进门,脸已经写满答案。

孟谦悬,“梁老师具体况吧。”

梁志病床旁,亢奋,“浸式光刻机方向应该确实错,实验数据分析,浸式光刻机极光刻机工艺向推3-4代!”

震惊,孟谦则配合震惊,“接计划?”

“挖!”

“嗯?什思?”孟谦很理解梁志思。

梁志解释,“整合力量整合暴露才空白实,光刻机细分领域太,虽全部研,领域

才空白领域,始培养肯定靠挖。”

打算哪挖?”

已经整理高校校友资源空白领域才。”

孟谦听明白梁志思,“早回吧,叫?”

。”

孟谦点头,梁志质疑,“梁老师记。”

“什?”

“申请专利。”

“放研究已经申请专利。”

仅仅研究,围绕研究,申请专利申请效果搞浸式光刻机,点头!”

“额...”梁志跟朱卫军眼,“孟...搞技术流氓?”

啊,咱流氓,跟流氓竞争,难理?理见

尽管耍流氓老板,骂,随便骂,反正谓。”

梁志跟朱卫军眼,眼神交流终决定按孟谦做。

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,门外阵脚步声,梁志三瓶二锅头进门。

梁志酒菜,笑,“管怎,今,整点?”

啊。”孟谦拒绝。

脸委屈,“老梁,?”

“哈哈哈,。”

算平静,翻滚强烈点喝高

梁志陪徐华,三回酒店休息

点酒沾,梁志,取抽屉笔记本,笔写

“200112月12,晴。

光刻机领域取突破...”

者其书:规则进化
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