芯片加工厂按部班进,王岸放块石头。
始,王岸买仅仅摊设备,二消化技术。
光刻机,套设备使尼康产gkl107 436纳米波长紫光光源,高压汞灯滤色波长。
套设备几被淘汰。
相比市场更先进248纳米紫光光源光刻机落两代,间相隔代365纳米光源光刻机。
知365纳米248纳米光源,间隔鸿沟。
436纳米紫光光源演进365纳米紫光光源,技术进步,光源高压汞灯。
248纳米紫光光源,技术换代,光源卤素激光光源。
且,王岸记很清楚,1995,193纳米紫光激光光源光刻机技术已经取重突破,今几将投入市场。
知,芯片产核装备光刻机,每次更新换代付代价,至少百亿数量级金,且越往越难。
历史,193纳米紫光光刻机换代,玩死批老牌光刻机厂。
原本全世界产光刻机十三,本四,157纳米光刻机,asml勉强活,其批厂倒闭,半死活。
岛顶尖尼康佳,因方向错误,157纳米干式光刻与asml浸式光刻机竞争落败。
再加asml搞双工台技术,提高芯片产力精度。
让两巨头彻底产高端光刻机,沦售卖低端产品,再力顶尖极紫光光刻机竞争。
9102,全世界高端市场,养活asml。
实,果台积电,intel,三星等芯片巨头输血,硕果仅存asml将被市场浪潮吞,光台积电三星,2016投20亿欧元,砸asml身。
难,真难,定取功,光刻机研究吞金巨兽,义?
肯定。
钱。
光刻机,光刻胶,蚀刻机,封装设备,光凭华芯科技,吃透技术基本,需调全社力量。
清光研究,王岸肚闷气。
刘本清教授激光光源耕耘,1971,参与台紫光干涉激光研制,1980,负责台接近式jl_01光刻机研制。
实受,研究工,受毛头伙指点。
王黯气,光研究投千万,,增加浸式光刻机探讨研究,难?
“王,再重申遍,浸式光刻机虽理论缩投影图,实际操,已经被证明,套技术通,研究浪费钱。”
“刘教授,建议再做探讨,且项技术并证明通,通。”
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刘本伟屑顾。
“王,跟句话实求,浸式光刻技术七八立项,其困难跟,清楚。
明点,精力研究浸式光刻机,精力投紫光激光光源,效果。”
代,普遍识,搞浸式光刻机条绝路。
王岸深吸口气,犟鸭嘴硬科研员太,初员,跟刘本清气,跟气。
犯气牛脾气,捅破,唯解决,德服,哦,,理服。
“超高纯度折射率液体,往往水粒微尘,或者气泡,或者离,加工造巨影响。
再加高纯水浮晶片,目光刻胶分溶进水,造液体介质污染,刘教授,错吧!”
刘本清王岸句话候愣住,什况,懂。
待王岸将两技术难点合盘,刘本清:“王,……?”
王岸装见,背身,继续:“除两问题,实际操,临平台稳定性,校准系统,曝光间等问题,需按每台机器类型次调试……”
刘本清给王岸竖拇指,声牛,资料怎容易找。
“王,既知浸式光刻机缺陷,需继续坚持吗?”
王岸点点头,:“什!刘教授,高纯水介质研跟外合,厌水光刻胶办,,考虑光刻胶再喷绝水薄膜,试,怎知!”
“试很办法!”
“再试,试解决止……”
王岸毫客气,投资,布命令,跟讨价价。
浸式光刻机肯定未方向,且波长越长,通折射,缩微效果越明显。
况且,光刻机波长并完全决定芯片制程,通特定曝光方式提高制程。
实证明,193纳米紫光光源,进65纳米芯片工艺产。
世半导体芯片制造理解,浸式光刻,重曝光方式够取进步话,完全将台东芝二货,改造台产800纳米工艺芯片加工厂,甚至更先进320纳米工艺。
芯片产效率,肯定差很,至少明点,掌握项技术。
且通程,华芯科技积累部分专利,asml设置套专利壁垒。
至套专利什,王岸法评估,按照估计,候,利坚政府应该插吧!
五间,王岸纸写磁悬浮双工台,浸式光刻系统,两未展方向。
次打算,光靠内研究机构力量。
“该寻找外援候!”