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四七章 寻找外援

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芯片加工厂按部,王岸石头。

始,王岸仅仅设备,二消化技术。

光刻机套设备使尼康gkl107 436纳米波长紫光光源,高压汞灯色波长。

套设备被淘汰。

相比市场先进248纳米紫光光源光刻机落两代,间相隔代365纳米光源光刻机。

365纳米248纳米光源,间隔鸿沟。

436纳米紫光光源演进365纳米紫光光源,技术进步,光源高压汞灯。

248纳米紫光光源,技术换代,光源卤素激光光源。

且,王岸很清楚,1995,193纳米紫光激光光源光刻机技术已经取突破,将投入市场。

,芯片装备光刻机,每次更新换代付代价,至少百亿数量级金,且越往越难。

历史,193纳米紫光光刻机换代,玩死批老牌光刻机厂

原本全世界产光刻机十三157纳米光刻机asml勉强活,其批厂倒闭,半死活。

顶尖尼康方向错误,157纳米干式光刻与asml浸式光刻机竞争落败。

再加asml双工台技术,提高芯片产力精度。

让两巨头彻底产高端光刻机,沦售卖低端产品,再顶尖极紫光光刻机竞争。

9102,全世界高端市场,养活asml。

台积电,intel,三星等芯片巨头输血,硕果仅存asml将被市场浪潮吞,光台积电三星,201620亿欧元,砸asml身

难,真难,功,光刻机研究吞金巨兽,义?

肯定

光刻机,光刻胶,蚀刻机,封装设备,光凭华芯科技,吃透技术基本全社力量。

研究,王岸闷气。

刘本清教授激光光源耕耘1971,参与台紫光干涉激光研制,1980,负责台接近式jl_01光刻机研制。

研究工毛头指点。

王黯研究千万,增加式光刻机探讨研究,难?

“王再重申遍,浸式光刻机虽理论投影图,实际操,已经被证明套技术通,研究浪费钱。”

“刘教授,建议再做探讨,项技术并证明通,通。”

【话,目朗读听书app,野果阅读, 安装新版。】

刘本伟顾。

“王句话,浸式光刻技术七八立项,其困难跟清楚。

点,精力研究浸式光刻机,精力投紫光激光光源,效果。”

代,普遍,搞浸式光刻机条绝路。

王岸深吸口气,犟鸭嘴硬科研员太员,跟刘本清气,气。

犯气牛脾气捅破,唯解决德服,哦,理服

“超高纯度折射率液体,往往水粒微尘,或者气泡,或者加工造影响。

再加高纯水浮晶片,目光刻胶溶进水,造液体介质污染,刘教授,错吧!”

刘本清王岸句话愣住,什况,懂。

王岸将两技术难点合盘,刘本清:“王……?”

王岸见,背身,继续:“除问题,实际操临平台稳定性,校准系统,曝光间等问题,需按每台机器类型次调试……”

刘本清给王岸拇指,声牛,资料容易找

“王,既式光刻机缺陷,继续坚持吗?”

王岸点点头,:“!刘教授,高纯水介质跟外,厌水光刻胶办,考虑光刻胶再喷绝水薄膜,,怎!”

办法!”

再试,试解决止……”

王岸客气,投资布命令讨价价。

式光刻机肯定方向,且波长越长,通折射,缩微效果越明显。

况且,光刻机波长并完全决定芯片制程,通特定曝光方式提高制程。

实证明,193纳米紫光光源,65纳米芯片工艺产。

半导体芯片制造理解,浸式光刻,重曝光方式够取进步话,完全台东芝货,改造产800纳米工艺芯片加工厂,甚至更先进320纳米工艺

芯片效率,肯定差很至少点,掌握项技术。

且通程,华芯科技积累部分专利,asml设置套专利壁垒。

套专利,王岸法评估,按照估计,候,利坚政府应该吧!

间,王岸磁悬浮双工台,浸式光刻系统,两展方向。

打算,光靠内研究机构力量。

“该寻找外援!”

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