果将FOL车间比喻豪华七星级酒店,键合工序机台众,被安排堂,晶圆切割工序跟减薄工序,机台数量少,安排独立包厢。
两工序通门相连接,共离DI纯水。
DI纯水三,清洗切割程产硅屑,切割程产热量降温,另晶圆ESD静电防护。
切割目将圆镜般晶圆分割粒粒具独立电气性Die,每Die经封装将独立芯片。
今,工程技术员薄片极致追求,晶圆减薄厚度断刷新记录,100μm50μm、再30μm。
满足切割薄片需,获独立芯片切割方法掰、刀片切割,激光切割,再等离切割,断变化展。
2003,刀片切割主流切割方式,直今切割方式依旧被众封测厂广泛采。
晶圆切割洁净室,远远望,片片晶圆光灯照耀银光闪闪。
走近仔细,让惊讶,竟长密密麻麻晶粒,晶粒与晶粒间间隔结构像街般,划片槽,英文名叫Dig Street,非常形象。
穿白色静电衣操员正忙物料,穿蓝色静电衣工程技术员正忙改机操,穿红色连体静电衣检验员正测量切割切割宽度,便控制产品质量,片忙碌。
辛佟走台晶圆切割机旁边,静静凝视切割台,火花四射,刺耳噪音,金刚石切割刀晶圆轻轻划,舟水,Single Pass,将宝刀削铁泥功效挥极致,晶粒被疾速分割。
辛佟眼立刻闪金庸笔若干胸怀志剑客身影,找稀世宝剑浪迹涯奔波江湖。
仗剑涯,弹剑歌,何等惬!
很显,工序败与刀关。
切割刀质本质决定它切割质量,切割转速进给速度将刀质挥极致,真正达削铁泥境界!
,再锋利刀钝化刻,刀具寿命管控工序尤其重。
“何保证刀具使质量?”辛佟转头问。
“辛经理,检验员吗?抽查切割宽度产品外观,果刀具崩边异常,通产品检验,知。”姜华回答。
公共场合,称呼辛佟经理,私,喜欢喊老。
辛佟脸立刻布满阴云,很显回答令满,等产品异常再思考换刀具,堆良品制造,黄花菜凉!
“辛经理,管控刀具寿命!”谢剑风边,边打设备控制界。
“,刀具寿命,切割次数!刀具寿命超期,设备报警提醒!”谢工指控制界。
“谢谢!”辛佟点点头。
采报警提醒功错,源头预防方法才正确管控方式!
“切割宽度少?”肉眼,切割晶圆依旧完整缺,提刀具,辛佟忍住奇问。
“刀够达切割线宽度35微米。”谢工指切割刀。
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35微米!难怪切割痕啊!
辛佟静静盯切割台,很快层蓝色薄膜引兴趣,减薄工序层蓝膜,切割工序,蓝膜固定金属钢圈。
“非常思,晶圆蓝膜套钢圈!”辛佟。
“层Tape保护晶圆切割程免受外部损伤,切割分离晶粒粘蓝膜,钢圈固定蓝膜。”谢工解释。
“噢!”辛佟点点头。
静静晶圆切割,除金庸武侠,见听此快锋利刀!
真惊世刀!
眼界!
冷静思考,刀切充满疑问,担切割应力造晶圆崩边:“谢工,减薄晶圆厚度150微米,刀切底否合理?”
“辛经理,实践经验告诉刀切问题,切两刀工艺,叫阶梯切割(Step Cut),两刀片完晶圆切割,切两刀工艺效改善芯片崩边问题。”谢工。
“谢工,摩托罗拉项目需采阶梯切割,刀切风险太!”辛佟。
虽实践经验,世理科神,受力分析,觉两刀切晶圆施加应力少很,肯定质量更。
“,今安排假片试试工艺!”谢工点点头。
“先试试,DOE分析工艺,确保万失!”辛佟笑。
姜华站旁,指点四王谢剑风,惊讶半句话!
辛佟早渣!