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百三十三章:刀具Lifetime

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果将FOL车间比喻豪华七星级酒店,键合工序机台众,被安排堂,晶圆切割工序跟减薄工序,机台数量少,安排独立包厢

工序通门相连接,共DI纯水。

DI纯水清洗切割硅屑,切割程产热量降温,另晶圆ESD静电防护。

切割将圆镜晶圆分割粒具独立电气性Die,每Die经封装独立芯片。

工程技术薄片极致追求,晶圆减薄厚度断刷新记录,100μm50μm、再30μm。

满足切割薄片,获独立芯片切割方法、刀片切割,激光切割,再等离切割,断变化

2003,刀片切割主流切割方式,直切割方式依旧被众封测厂广泛采

晶圆切割洁净室,远远望片片晶圆光灯照耀银光闪闪。

走近仔细,让惊讶,密密麻麻晶粒,晶粒与晶粒间隔结构像街般,划片槽,英文名叫Dig Street,非常形象。

穿白色静电衣员正忙物料,穿蓝色静电衣工程技术员正忙改机操,穿红色连体静电衣检验员正测量切割切割宽度,便控制产品质量,片忙碌。

辛佟走台晶圆切割机旁边,静静凝视切割台,火花四射,刺耳噪音,金刚石切割刀晶圆轻轻划,,Single Pass,将宝刀削铁功效极致,晶粒被疾速分割

辛佟立刻闪金庸笔若干胸怀剑客身影,稀世宝剑浪迹涯奔波江湖。

仗剑涯,弹剑歌,何等惬

很显工序败与刀关。

切割刀本质决定切割质量,切割转速进给速度将刀极致,真正达削铁境界!

,再锋利钝化刻,刀具寿命管控工序尤其重

何保证刀具使质量?”辛佟转头问

“辛经理,检验员吗?抽查切割宽度产品外观,刀具崩边异常,通产品检验,。”姜华回答

公共场合,称呼辛佟经理,喜欢喊

辛佟立刻布满阴云,很显回答,等产品异常思考换刀具,良品制造,黄花菜

“辛经理,管控刀具寿命!”谢剑风边打设备控制界

,刀具寿命,切割次数刀具寿命超期,设备报警提醒!”谢工指控制界

“谢谢!”辛佟点点头。

报警提醒功错,源头预防方法才正确管控方式!

“切割宽度少?”肉眼,切割晶圆依旧完整缺,提刀具,辛佟忍

够达切割线宽度35微米。”谢工切割刀

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35微米!难怪切割痕啊!

辛佟静静切割台,很快层蓝色薄膜引兴趣,减薄工序层蓝膜,切割工序,蓝膜固定金属钢圈

“非常思,晶圆蓝膜套钢圈!”辛佟

层Tape保护晶圆切割免受外部损伤,切割分离晶粒蓝膜,钢圈固定蓝膜。”谢工解释

“噢!”辛佟点点头。

静静晶圆切割,除金庸武侠锋利刀!

惊世刀!

眼界

冷静思考刀切充满疑问,担切割应力晶圆崩边:“谢工,减薄晶圆厚度150微米,刀切否合理?”

“辛经理,实践经验告诉刀切问题切两刀工艺,叫阶梯切割(Step Cut),刀片完晶圆切割,切两刀工艺效改善芯片崩边问题。”谢工

“谢工,摩托罗拉项目需阶梯切割,刀切风险太!”辛佟

实践经验,理科神,受力分析,两刀切晶圆施加应力少很,肯定质量更

安排假片试试工艺!”谢工点点头。

先试试,DOE分析工艺,确保万失!”辛佟笑

姜华站旁,指点四谢剑风,惊讶半句话

辛佟早

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