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八十四章 晶圆制备工艺

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“吉姆,公司正积极扩加拿芯片产业园,办法,关键晶元制备办法,单晶硅直径英寸,直径单晶硅,才真正提高产量,4英寸单晶硅制备工艺,?”

斯托弗王海华,凌世哲:“boss,今汇报原因,boss晶圆制备实验工厂。”

凌世哲三衣服车,汽车驶芯片实验工厂,向西左右工厂,三再次换衣服进入超洁净实验产车间。

另凌世哲感奇怪王海华非常熟悉,克斯托弗凌世哲疑惑,解释:“boss,新晶圆制备工艺交给负责,鉴公司足,跟香港计算机院进通报。”

,凌世哲拍头,居搞忘香港安布雷拉工业公司精力新型cmos芯片工艺制造技术,4英寸晶圆制备技术实斯托弗计算机院,向凌世哲打份报告,合研究,凌世哲报告字,给忘,既研究,王海华熟悉

“抱歉,给忘。”

关系boss,谁候。”

凌世哲带类似仓库房间,尺寸晶圆棒,根整体,干脆间切几段,被切片片薄薄晶圆片。

处检验台,摆放晶圆检测设备,几名工员坐显微镜张张晶圆进检查。

凌世哲尺寸单晶硅,疑惑:“吉姆,资料4英寸晶圆工艺制备技术吗,怎晶圆尺寸,怎?”

“boss新工艺技术掌握并熟,摸索晶圆棒很稳定,特别,4英寸坏,很差,5英寸坏。掌握套新工艺,采取笨办法,先六英寸,9英寸,提高,虽新工艺技术掌握熟练度提高少。”

够达少英寸坏?”

“十三英寸。”克斯托弗肯定

错嘛,套新工艺掌握很快嘛。”

候王海华插话:“简单,套新工艺太先进,技术相复杂,工产操掌握教授工程师头疼,光靠,必须实化,光采集工数据花费很间,各设备故障处理措施相关数据采集,各软件编写,数控系统调试等等,问题等解决。问题复杂挠水磨工夫。”

凌世哲脸略微红晶元制备历史三英寸、六英寸、九英寸、十二英寸台阶台阶经济利益,直接三英寸直接跳二十四英寸,略间很步聚,让克斯托弗王海华产工困难,什头摸索,经验借鉴参考,帮技术专堪言。

产设备按照求造吗,问题?”凌世哲愧疚很快九霄云外已经完全资本何获取利益已经制造产设备问题。因关系套工艺投入产。

斯托弗头,肯定语气:“设备设计制造套工艺设备建立相关模型,完全符合模型求,实验认真验证,工程师经验相丰富,问题,问题与其工艺设备研问题,新设备新工艺产调试问题。boss,攻克它,候4英寸晶圆片量源源,质量稳定,品质靠。”

王海华头,听充满信,凌世哲口气,果真像克斯托弗,半间甚至候4英寸晶圆厂投产,芯片工厂原基础幅提高几倍。

晶圆检测间,向其产区走

常见元素,它极少单质形式已复杂硅酸盐或二氧化硅形式,广泛存岩石、沙硕、尘土。硅二丰富元素,构质量5.7%,占四分,仅次氧(49.4%)。

硅包括晶态定型两素异形体,晶体硅灰黑色,定形硅黑色。晶体硅单晶硅晶硅,它金刚石晶格,硬金属光泽,半导体性质。

半导体芯片原料单晶硅,晶硅单晶硅原料,太阳及光伏基础材料。

晶硅按纯度分冶金级晶硅(俗称工业硅)、太阳晶硅晶硅。

凌世哲设计套工艺,并硅晶矿方式产,直接采工业硅原料产,其工艺流程工业硅———晶硅——单晶硅。

高纯度晶硅制备普遍采三氯氢硅原法制备高纯硅,方法西门公司被称西门法制备高纯硅。

涉及西门专利问题,凌世哲采取另外高纯硅制备方法——硅烷热分解法。

硅烷热分解制备高纯硅,世共普遍采方法,它相比西门法,其工艺简单、安全性相较高(西门**)本低、提纯度高、污染少,高纯硅制备法。

它分硅烷制备、硅烷提纯、硅烷分解沉积高纯晶硅三步聚。

硅烷制备方法很,凌世哲世广泛采硅化镁分解法制备硅烷,其产方法粉末工业硅硅粉镁粉进混合,氢气加热并产反应,产硅化镁。

硅化镁与固态氯化铵低温液氨反应,硅烷。方法安全、靠、除杂效果良,特别除硼效果相,除此外硅烷纯度相较高,非常制造方法。

硅烷提纯,硅烷sih4,它常温气态,气体提纯比液体固体容易,硅烷沸与各杂志相差加很方法低温液化法除硅烷氨,精馏提纯除杂质。

方法预热分解法,硅烷分解温度六百摄氏度杂质分解温度三百八十摄氏度,预热温度控制三百八十度左右,将杂质氢化物分解,纯化硅烷

述两方法外,凌世哲设计套工艺吸附法等方法提高硅烷纯度。

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整套组合拳,硅烷纯度相高,硅烷危险,因硅烷本身易燃易爆气体,硅烷产工厂与晶圆产厂较远山坡爆炸,利爆炸向四周朝抛射特,降低晶圆产工厂破坏,整硅烷工厂安保措施非常严密,必须持专门证件才入,准进入,管理者严密挑选,除查品外,关系三代,凌世哲希望招背景复杂,万黑社员哪破坏,硅烷爆炸波及范围,足毁掉整观塘工业区将军澳,连离很远邵氏影视城被扫平,其爆炸威力颗战术原弹,硅烷工厂安全求怎严苛分。

凌世哲三硅烷工厂全部逛遍,安全措施检查遍,凌世哲满,克斯托弗硅烷厂厂长王炳坤才松口气。

香港虽亚热带,二月,特别海风湿冷,冰冷刺骨。

斯托弗王炳坤高层管理者却擦汗,擦汗,凌世哲问:“怎很热吗?”

停止擦汗,王炳坤解释:“老板热,热。”

:“热、热,老板热。”

跟狗腿,凌世哲笑骂:“瞧息,怕吗?硅烷工厂安全此严格硅烷存储罐果它爆炸吧?”

“凌少,明白,硅烷旦爆炸,足摧毁半香港,凌少安全严格打半折扣。”王炳坤头哈腰凌世哲

,王厂长做错,错,安全措施执非常位,丝毫死角,非常错。”

凌世哲肯定,王炳坤等灿烂笑容,凌世哲严格,容易视察工厂堆毛病按期整改,直接炒次检查凌世哲却半毛病王炳坤力非常欣赏,提升几级。

“刚才,员工值班室安装暖气片,香港很冷,特别,王厂长记住尽快暖气片给装,别给冻坏,知吗?”次检查,凌世哲够呛,检查任何问题,错,应该给甜枣,否则早晚怒气滔,胡萝卜加管理公司段。

王炳坤知凌世哲刚才抡棒,始给甜枣安抚且笑答应:“,凌少,安排办,绝让工。”

凌世哲头,:“香港很炎热,虽才月份,很快,工厂防暑降温工,空冷水降温设备吧,别让职工,硅烷厂安全产工错,很满,硅烷厂员工包括管理层,全薪水奖励。”

凌世哲刚完,片欢呼声,高声呐喊,万岁,万岁。

帮热欢呼员工,凌世哲压,立刻安静

凌世哲继续:“该进欢呼,辛苦,今,凡休息员工,聚福楼吃餐,指请客明白吗?”

……”声整齐吼声传凌世哲耳朵,差耳朵震聋,跟欢呼声,声浪波高波。

欢呼群,凌世哲:“庆祝吧,刻,肯定,奖赏,庆祝吧,。”

完,凌世哲斯托弗及王海华三车离,车片欢呼群。

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