光刻机很难。
真非常非常难。
难度系数氢弹十倍。
哪怕倾举力短期内拿。
,经常充斥卫明耳边话,听几乎耳朵长茧。
真难?
,亲进入研工厂,解透光刻机工原理,“老板工间”内,利体内黑,轻松打磨几十合格高精密零件,及20块“锅盖”镜片——每块“锅盖”镜片,由四十层玻璃叠加,表凸超1纳米。
“很简单嘛,像什难。”
批批精度完全合格零件,卫明撇撇嘴。
“底难什方?”
“光源器非常难。”
蒲伟才:“制造波长13.5纳米极紫外光,必须193纳米波长深紫外光,击打由落体金属锡滴,并且极短间内,连续击锡滴两次,每秒重复5万次,才产足够强度极紫外光。”
知金属锡滴直径二十微米。
由落体程,仅被激光击,由水滴状摊平圆饼状,再进二次击打,才击强烈极紫外光……整程,完全态,绣花针击苍蝇,且连续击两次。
并秒内,重复五万次套操。
“已经解决光源问题?且源利率达5%?”卫明解。
“光源解决,因击打光源,特殊晶体击132纳米光,量利率肯定比193纳米光高,制造强度足够13.5纳米波长极紫外光,通击打锡滴方式达,唯路径。”
“,搞定击打光源,搞定光源……两码吧?”
卫明眉头皱。
“卫,爱搞虚假宣传,长期科研究,果点果话,谁关注,怎给拨款?哪怕部分突破,重点宣传番。”
旁向广林解释。
“正攻克项技术难题,锡滴击打频率问题。”
蒲伟才:“已经解决连续击打问题,每秒重复5000次,量利率更高,需做每秒重复2万次,足够使光照强度。”
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“量利率义,每秒2万次比每秒5万次,明显容易实。”
“每秒2万次……”
卫明沉吟,:“缺什条件,阻止达频率?”
“精度,控制系统精度。”
蒲伟才:“钟,精确掌控2万滴锡滴由落,及4万次击打,间,每秒内误差,超十亿分秒;距离,每秒超1纳米,并且设计套‘偏差纠正’系统,误差累积,纠正,让系统长期稳定运转。”
“目正全力攻克控制系统,纠偏系统稍稍靠,安排团队进攻关。”
“果岛进口相关零件,很快,三月内,实击打频率突破2万次。”
岛?
三月?
卫明摇头笑笑,:“缺什零件,交给吧,给捣鼓。”
接连续捣鼓三间。
激光频率控制器。
高灵敏距离感应器。
什器,什装置,及卫明叫专业名称东西。
三内共搞十几。
让蒲伟才,装置,塞入控制系统,极高精度求,组装。
再启试运。
“释放锡滴,初始频率每秒1滴。”蒲伟才进指挥。
“始释放。”
“两次击打功,摊平形状完,激效果完!”
“增加释放频率。”
“每秒50次试验功。”
“每秒500次试验功!”
“每秒5150次试验功!追平高纪录。”操员声音微颤。
“继续增加!往加高点!”
蒲伟才始激,才次进调试已,居追平套零件断调试数百次创造高纪录?
“每秒5500次试验功,创造新纪录!”
“再加!”
每秒7000
每秒9000
每秒1万
……
直加每秒2万,满足使频率求。
被震惊麻木,依取功!
“再加,再往加!”
每秒3万
每秒4万
每秒4万5
每秒5万!
“锡滴释放频率达限,特取功!”操员毫形象狂喊。
“转化光强额定光强2.5倍!”
向广林眼睛通红吼:“味台光刻机处理晶元效率,至少艾思迈EUV两倍,台,顶两台!”
“别叫!”
蒲伟才高高挥,目光盯持续间数据,极力压制绪:“每秒5万滴锡滴,每秒10万次击打况,系统稳定工长间?别吵,噪音,影响它挥。”
安静。
屏住呼吸。
目光死死盯持续间。
5分钟
15分钟
29分38秒
由累积误差越越,纠偏系统进纠正,整系统终停止运。
啪!
蒲伟才右拳力轰击左掌,满脸涨红:“3分钟足够,3分钟,配套设计非常复杂纠偏系统,它坚持足足半!需设计套非常简单纠偏系统,让它长期稳定工,整系统复杂度至少降低10%,省量间!”
“太厉害,太神奇!”
项目负责,呼叫:“光源问题彻底解决,双工台,镜头完全,EUV光刻机,完度至少超90%!”
“完全胜利希望!”
,泪坝崩,几欲捧哭场。
坚持十几!次,真希望,,已触及。
见此,跟团队其员,擦眼角,呜呜声音。
“真功呢,眼泪留庆功宴。”
略扫兴声音传。
却听卫明:“蒲博士,刚才脸抗拒,怀疑打磨东西,呢?信话吧,零件问题,公司问题,技术难点,感觉怎难。”
“错错。”
蒲伟才连忙擦泪,露张童真笑脸:“卫错,卫马,光刻机,任何什难点,相信卫带领,解决切技术问题!”
次真服,眼崇拜。
“错,完全亏卫。”
“卫辛苦,给卫捶捶肩。”
“卫神级打磨,创造工业奇迹!”
“卫才功臣,感谢卫。”
波马屁声覆盖。
次,蒲伟才仅咳嗽制止,反拍厉害。
,马屁听够,卫明让马投入工,继续寻找问题,解决问题,直任何问题止。