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九十四章 光刻机比容易

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光刻机很难。

非常非常难。

难度系数氢弹十倍。

哪怕倾举短期内拿

经常充斥卫明耳边话,听几乎耳朵长茧。

,亲进入研工厂,解透光刻机原理,“老板工间”内,利体内黑,轻松打磨几十合格高精密零件,及20块“锅盖”镜片——每块“锅盖”镜片,由四十层玻璃叠加,表1纳米。

“很简单嘛,。”

精度完全合格零件,卫明撇撇嘴

底难方?”

“光源器非常难。”

蒲伟才:“制造波长13.5纳米极紫外光,必须193纳米波长深紫外光,击打由落体金属锡滴,并且极短间内,连续击锡滴两次,每秒重复5万次,才足够强度极紫外光。”

金属锡滴直径二十微米。

由落体被激光击,由水滴状摊平圆饼状,再进二次击打,才强烈极紫外光……整程,完全绣花针击苍蝇,连续击两次。

秒内,重复五万次套操

已经解决光源问题源利率达5%?”卫明

“光源解决击打光源,特殊晶体击132纳米光,量利率肯定比193纳米光高制造强度足够13.5纳米波长极紫外光,击打锡滴方式达路径。”

搞定击打光源,搞定光源……吧?”

卫明眉头皱

“卫爱搞虚假宣传,长期研究,话,谁关注拨款?哪怕部分突破,重点宣传番。”

向广林解释

攻克项技术难题,锡滴击打频率问题。”

蒲伟才:“已经解决连续击打问题,每秒重复5000次,量利率更高,需做每秒重复2万次,足够使光照强度。”

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量利义,每秒2万次比每秒5万次,明显容易实。”

“每秒2万次……”

卫明沉吟:“缺什条件,阻止频率?”

“精度,控制系统精度。”

蒲伟才:“钟,精确掌控2万滴锡滴落,及4万次击打,,每秒内误差,十亿分秒;距离,每秒1纳米,并且设计套‘偏差纠正’系统,误差累积纠正,让系统长期稳定运转。”

“目全力攻克控制系统,纠偏系统稍稍靠安排团队进攻关。”

进口相关零件,很快月内,击打频率突破2万次。”

月?

卫明摇头笑笑,:“缺什零件,交给吧,捣鼓。”

连续捣鼓间。

激光频率控制器。

高灵敏距离感应器。

器,装置,及卫明叫专业名称东西。

共搞十几

让蒲伟才装置,塞入控制系统极高精度求,组装

试运

“释放锡滴,初始频率每秒1滴。”蒲伟才进指挥

始释放。”

“两次击打功,摊平形状完,激效果完!”

“增加释放频率。”

“每秒50次试验功。”

“每秒500次试验功!”

“每秒5150次试验功!追平高纪录。”操员声音微颤

“继续增加!往加高点!”

蒲伟才始激次进调试已,居追平套零件断调试数百次创造高纪录?

“每秒5500次试验功,创造新纪录!”

“再加!”

每秒7000

每秒9000

每秒1万

……

直加每秒2万,满足使频率求。

被震惊麻木,依功!

“再加,再往加!”

每秒3万

每秒4万

每秒4万5

每秒5万!

“锡滴释放频率达限,特功!”操员毫形象狂喊。

“转化光强额定光强2.5倍!”

向广林眼睛通红吼:“台光刻机处理晶元效率,至少艾思迈EUV两倍台,两台!”

别叫!”

蒲伟才高高挥,目光盯持续数据,极力压制:“每秒5万滴锡滴,每秒10万次击打系统稳定工间?别吵,噪音,影响挥。”

安静

屏住呼吸。

目光死死盯持续间。

5分钟

15分钟

29分38秒

累积误差越纠偏系统进纠正,整系统终停止

啪!

蒲伟才右拳力轰击左掌,满脸涨红:“3分钟足够3分钟,配套设计非常复杂纠偏系统它坚持足足半需设计套非常简单纠偏系统,让它长期稳定,整系统复杂度至少降低10%,间!”

“太厉害,太神奇!”

项目负责叫:“光源问题彻底解决,双工台,镜头完全EUV光刻机,完度至少超90%!”

完全胜利希望!”

坝崩,几欲捧场。

坚持十几次,希望,已及。

此,跟团队员,眼角,呜呜声音。

功呢,眼泪庆功宴。”

扫兴声音传

却听卫明:“蒲博士,刚才脸抗拒,怀疑打磨东西呢?信吧,零件问题,公司问题,技术难点,感觉难。”

错。”

蒲伟才连忙擦泪,露张童真笑脸:“卫错,马,光刻机,任何什难点,相信带领解决切技术问题!”

,眼崇拜。

错,完全。”

“卫辛苦,给卫捶捶肩。”

“卫神级打磨,创造工业奇迹!”

“卫功臣,感谢卫。”

波马屁声覆盖

次,蒲伟才咳嗽制止,反厉害

,马屁听够,卫明让投入,继续寻找问题,解决问题,直任何问题止。

者其书:打工异界崛
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