,东直江州,保证5G射频芯片投产目工,其切往靠。
产线改造完试产,东间参观。
“……”绕颇丑陋“注程机”,东转几圈,完全明白玩儿究竟何工:“跟光刻机差吗?差别太!”
光刻机非常笨重复杂,台顶尖光刻机管安装调试候需半久。光科技原理却很简单,稍微点专业知识很容易够理解。
即便专业士,早二十,胶片洗照片流程难吧?
光刻机原理跟洗黑白照片伙模,,精密度量级,光刻机精密太。
“注程机”完全,外观,它结构非常简单,简单览遗。
数元器件非常常见非常熟悉,认识。组合怎工?完全头懵。
除康硕,知它具体怎工。
东识趣口问,知问康硕告诉,讪讪压内十足奇。
……
“进外圈光刻程,实跟传统芯片产程完全,,硅片,进入封装测试流程,需加步‘注程’步骤。”
核技术员康硕很熟悉,聊很久,步步帮助线调试各类程序,给讲解原,或者新增流程,算回归辈老本——产线调试。
“儿,知,沪微电SSC600杠10系列光刻机,官方数据够满足12寸晶圆110nm精度光刻需求。锡州公司,包括台积电金陵工厂,款光刻机甚至实90nm级别实验室产。”
康硕接:“完130nm量产,问题哪儿呢?儿!掩膜版与与晶圆准流程整产程木桶短根木板,解决问题,至少达官方数据水准,量产110nm毫问题。”
听康硕,场技术核内毫波。
材料热胀冷缩特性造掩膜版晶圆片准精度误差,早,知问题儿。
问题怎?解决白搭。
虽聊很,很投机,康硕很水平,任何实操经验本科再水平高哪儿呢?顶跟差罢。
,工程师并认康硕解决问题,听康硕候,内甚至毫波澜。
康硕略寻思,知群什,公司遇牛候,内此嘀咕,,顿顿,接:“解决问题其实很简单。”
“嗯?简单?”几名技术核露茫神色:印象,孩爱话呐!
“拿两标准片,使组晶圆,准图形掩膜版,另准图形二掩膜版。”
康硕理嘀咕什,实胜雄辩,接:“,沿光刻系统Y方向整体偏移,预设偏移距离,曝光显影。
候,分别测量标准片二标准片某重复区域嵌套图形间相偏移误差,将误差二误差差值掩膜版准图形补正参数,此,减误差,提升整体制造工艺。”
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始候,嗤鼻,康硕越越惊。
问题,尝试解决,办法,设计方案。
每方案撑实施阶段,论证候完全被否,理论通,实践怎效果呢?指望瞎猫碰死耗吗?根本!
候,群脑康硕方案头至尾,环节环节全部遍,竟理论真通!
仅此,方案具通性,且很便捷,本高,至准确性,光理论肯定判断,肯定实践。
管实施结果怎,康硕已经走边啊!
群,尤其几技术核向康硕眼神立刻:怎光刻流程熟悉?牛吗?
……
“准备设备,更新调试准误差补偿量参数,尝试!”
其实尝试,康硕方法极度信,因本被证明实施方案。
,130nm~48nm区间效,再往,另层次,影响因素更。
康硕信,工厂技术员啊,此刻,内像猫爪挠般——急切知结果。
级别技术算什核,工厂内核技术员签署保密协议竞业限制况,康硕藏掖,直接带搞。
搞,分昼夜。
……
“功!功!”
工厂,群丝毫修边幅技术员满眼血丝,神色激,声惊呼。
几乎几眠休奋战,结果令失望。
整套系统升级,完实准误差补偿调整设,功制批110nm制程工艺片,整工厂技术力提升层次。
,全眼整刚满二十周岁轻带。
“老!”
群或或,比康硕几岁悦诚服叫康硕老,技术领域,达者先。