孙祖杰牛逼轰轰,敢做赌博,因孙祖杰八十代投资启研究几款激光器,尤其ArF 19nm激光器终1997功,具战略义重突破。
先进极紫外光EUV技术,华经长期懈攻关,目已经取少果。
光源取突破,原因华激光技术直处世界流水准。少投资,明确方向,取展必。
华吉光电搞激光器虽功率低,勉强使,迫使倭两陆续放弃华领域技术封锁。
孙祖杰取功非常高兴,华投紧接拨给千万华元资金,求ArF 19nm激光器必须达西方等水平。
光源光刻机部分,尖端机电体化产品,华产光刻机问题套刻精度够产效率。
套刻精度与光刻分辨力密切相关。果达0.10μm光刻分辨力,根据%法则求套刻精度低0.0μm。
套刻精度主与工件台掩模台定位精度、光准精度、步扫描精度等因素关,定位精度、准精度步扫描精度分别约套刻精度1/5~1/,即0.006~0.01μm。
提高产效率光刻机实产业化必条件。提高产效率,必须优化设计激光器输功率、重复频率、曝光量控制、步扫描等各技术环节,并采先进技术尽量减少换片、步进光准等环节需间。
够完善环节,必须漫长间摸索,调试,需量投资。虽欧派微芯钱,各几光技术,花数钱,因华整体工业实力足,华产光刻机提高套刻精度,降低产效率。
华九十代研1微米光刻机相比进口产品,效率直差比较,原因,提高产效率,孙祖杰很早阿斯麦双工台。
双工台系统,使光刻机工台进曝光晶圆片,另外工台进预准工,并间结果反馈,产效率提高约 5%,精度提高 10%。
双工件台系统虽仅加工台,技术难度却容觑,工台转移速度精度非常高求。
华工程师磁悬浮技术启示,利华永磁体领域领先,正全力磁悬浮工台,目实验研究已经突破,实验精度确实提高。
19nmArF光源,浸式光镜头,双工台突破,专经研究认根本必再跟西方技术路线亦步亦趋,欧派微芯完全直接攻关0.1微米左右线程浸式光刻机。
因使 19nmArF光源浸式光刻机,波长直接缩短14nm,新型光刻机直接0.1nm左右线程步,再通光邻近效应矫正等技术,其极限光刻工艺节点甚至达 8nm。
知1997,此主流光刻机线程0.5微米,采KrF48 nm光源。倭正研19nm干式光刻机线程仅仅0.18微米,步才0.1微米,90nm。
采另外条技术路线华5宝贵追赶间,间应该机取突破。
款光刻机被攻克,华很实弯超车,此赌绝值,毕竟华投相应技术积累。
除此外,处,采19nm干式光刻机65nm左右,差快极限,采华路线,线程直接达0nm左右,问题。
达段线程区间,欧更换光源全部推倒重,与华交换技术。者需量投资,者技术,候除非资本脑短路,否则定与华交换专利。因此华技术路线,明显才未,投入再,值。
1998初,更换身份孙祖杰,华投决策组组长身份,席新型光刻机研员,林先参加次员。
几林先研究团队精力放翼条0.5微米芯片产线调试改进,并权限知华投光刻机领域秘密。
经几合,林先研究团队已经被认,今才资格席今员,参与款代表未光刻机研究。
林先听长吉光电志公新型光刻机技术方案,简直敢相信耳朵。
什候内已经攻克浸式光刻机,且止代产品,明很早思路,并已经实,什直保密,外公?
转,林先识什,内半导体工业直追赶,且速度很快。
九十代初宣称弄1微米光刻机,95已经攻克0.5微米光刻机,欧相继华解禁部分技术封锁,恐怕浸式光刻机效果。怪华直产光刻机极端保密,愿外公,原原因。
,兴趣猛间很,怎思路竟内已经型,太让兴奋。
尤其知孙祖杰根据八十代论文,才启研,更高兴,
“孙助,墙花墙外香,华够追赶机,且其绵薄力,真与荣焉!”
孙祖杰笑点点头,林先提理论,内科研,理论提者请帮研究,件让幸福呀!
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几,华旦取突破,候热闹,帝选择华路线;选择倭路线,论哪点乐,且论哪点桃花岛份。
,桃花岛芯片代工业领域领先将受很限制,华投追赶铺平路。
光刻机旦突破,味电产业制高点被华突破,华将更加容更加信展其芯片制造设备研究,此算四百亿华元花光值。
光刻机领域技术果,应其领域,比比联合船舶,造船技术进步很快;比华夏重工,根据俄罗斯技术转移华投研究果,已经研究代华五轴。
尽管代产品精度欠缺,已经解决相部分军工领域需求。华夏重工技术突破,华军工制造业重装备制造业义重。
孙祖杰才非常底气拒绝继续给军产部提供资金,且类特殊商品提非常高报价,本买呀。
九八初,经几次催讨,确信已经拨款军方佬此十分恼火,研究妥协。
原因军工展,必须购买华夏重工量高性机床,此华唯供货商,类机床进口更门。
且仅仅华夏重工,欧派微芯联合超算牛塌糊涂,军工必须款高端芯片,必须依赖欧派微芯制造。另外特殊涂料,报价正卡点,让气半死,买。
军方佬迷惑,什候华投已经展程度,挟军方?越越窝火佬,装领导牢骚,太争气,搞军工竟技术搞民品企业,底干什吃。
装领导苦涩,尽管两拨款少,缺课太,限资源投资重领域。
军工芯片高精尖机床制造依赖华投,且仅仅,未依赖性更加严重。
因华投科研投入太,科研经费打点折扣,使效率比军工系统高很,,未华投系企业很比军工系统类型企业强。
装领导奈告诉军方佬,咱亲儿已经远送群野孩,华投系企业仅碗水端平,且更加重视,华投幺蛾越越。孙祖杰找茬,求碗水端平,已经很错,习惯,习惯。(未完待续)