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五十章 圆筒式刻蚀机

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初凌世哲建立半导体工艺实验室候,教授研究方便,专门两层楼教授工程师办公区,每教授工程师间属办公室,办公室休息室,累休息。除此4间职工休息室,职工休息室教授工程师办公室集体休息室,几长椅、号铁桌、工具柜。跟工厂员工休息室区别,员工各分两间,全教授休息楼层。

王海华凌世哲教授办公区楼层,带凌世哲办公室,议室,斯托弗、邱明十余名工程师及九名香港理工教授。

议室,容纳00议室布置奢华,科技感十足,凌世哲世几十眼光显老土。

议室,分两边坐,凌世哲坐主位,左香港理工教授,右安布雷拉工程师。

亚洲更应该讲究左尊,西方尊;安布雷拉公司工程师西方方,教授,坐方。座位,凌世哲双方尊重,被轻视感觉。

几名端茶倒水。端茶送水话,状况断。

“嗨,茶,咖啡,拿错。”

茶,茶。”

拿铁,卡布其若,给,笨蛋!”名教授怒

“哦,帝,咖啡加牛奶纯咖啡,白咖啡,四分三颗糖,四颗,给加四颗糖,换,菜鸟。”安布雷拉公司工程师

英式柠檬茶,式薄荷茶!”

……

搞错龙井,茉莉花。”

茉莉花,雀舌干嘛,顾教授,给,,茉莉花拿。”

忙脚乱,状况,凌世哲突初刚刚穿越,刚进景,表区别,菜。

骂,靠,帮老头太挑吧,喝茶茶,咖啡咖啡,什加奶加奶,什纯咖啡、龙井、雀舌,挑干嘛?咖啡或茶吗?

其实香港非常重视实践培养,端茶送水基本实践茶水例,饮食习惯各爱喝咖啡,爱喝茶。咖啡跟茶分类,,需求甚至特殊

端茶送水实践,帮助认识,锻炼临场反应挥,瞬间记忆力,协、组织安排等,通锻炼,让建立信。

象牙塔,踏入社预备站,校读书娃娃,错误包容原谅,旦踏入社娃娃旦犯错,轻则被骂,重则被炒鱿鱼,甚至吃官司。

香港,活工压力巨适应,被淘汰。

适者香港册,空气,充实香港方方。正此,香港非常重视实践,培养智商极高,商低儿。

“喝喝,卡姆,哈。”凌世哲提醒名工程师。

卡姆,哈哈:“boss,笑,候。”

理工教授:“关系凌少,工程师做帮菜鸟锻炼,踏入社处。”

名安布雷拉工程师:“boss,刚挑剔,明白教授“刁难”才加入其“刁难”,香港培养方式非常思,通特殊培养方式培养非常独立。”

工程师头。方式香港,其实践锻炼,做干净利落、条理分明、忙序,遇慌忙急躁,知先干什再干什。其方法锻炼独立信,香港方法特殊,集合东方西方优秀经验,走路。

忙脚乱,慢慢始变章法茶水跟咖啡准确端给才退,走议室忘关

全部走,王海华才凌世哲交给资料袋打几张晒制图技术资料。资料依次分给教授工程师,晒图纸摊议桌衣兜眼镜盒打,取老花镜戴,向晒制图,旁边邱明斯托福及两教授名安布雷拉工程师章晒图纸

图纸角数据栏写圆筒式等离处理系统。

告诉凌世哲电耦合等离体刻蚀系统法短间搞,凌世哲资料,终套替代方案。

半导体历史硅片刻蚀77湿法腐蚀技术工艺,技术乙酸或ho缓冲hf/hno溶液与薄膜建反应,除薄膜未被光刻胶覆盖部分达刻蚀目刻蚀方法叫湿法刻蚀技术,纯化刻蚀。

半导体技术进步,湿法刻蚀技术走镜头,始进入干法刻蚀。它使液体,等离体或高束轰击方式晶元进刻蚀。

桶式刻蚀机刻蚀机,简单刻蚀机。凌世哲设计圆筒式刻蚀系统桶式刻蚀机改进,它采款通真空处理舱及机箱,款满足等离胶,清除浮渣,各向各向性蚀,采高模块化装配设计、真空舱体-电极设计、结构紧凑,具化工艺程序等离体刻蚀设备。

凌世哲套装置代替icp刻蚀机,套系统刻蚀尺寸极限0.5微米;按照半导体技术展速度,套设备使极限,icp刻蚀机已经完全进入使阶段跟圆筒式刻蚀机进交接,它替换

像原先历史,频繁更换刻蚀机。苦思很久才套解决方案。

良久,凌世哲问:“何,科技它造?”

邱明与众互相头,:“设计问题,间做几试验找数据值,明三月份定型投入使。”

,凌世哲显进度:“给?”

卡姆摇头:“很难,明三月份够做,boss套系统,数控系统花许间,三月份重**ug重**ug,。”

卡姆凌世哲突历史mk800数控机床,台机床斯皮舍尔公司七十代末推间整整间太久远凌世哲,反正台机床问题,经检验问题软件,斯皮舍尔公司花bug,90代才bug给找,它隐藏斑;台机床bug处,几处,全bug,直达90代末才全部解决。候斯皮舍尔公司早已经历史。

软件问题解决麻烦,软件故障问题否顺利解决,全部取决间找bug,间内找,特别重**ug,解决。找bug解决问题,找洗白。

,应该问题,软件问题内核结构设计合理,其次程序编写严重失误才,boss套数控系统机构非常简单,cpu芯片risc构架,硬件设计任何问题,软件内核结构设计简单许,排除重**ug缺陷程序员编写失误,严重bug排除掉,bug影响。另外,建议使j**a.0企业版编程语言编写它程序,java优势适合团队,软件工程规范,求严格程序,很难比拟优势。限度防止严重bug分组编写方式编写软件代码,节约很间,软件编写完程序检测软件检测它漏洞,特别漏洞。”安布雷拉公司名软件工程师反驳

“risc构架程序编写量非常程序员完全够啊!”卡姆

编写,程序问题,三月份嘛,软件优化升级。”王海华回答

言,言,计划慢慢完善确定方案,克斯托弗凌世哲:“boss,,明三月份拿速度影响正常套系统程序编写反复修改,risc结构程序像cisc构架,它虽复杂,编写程序量且非常。”

凌世哲头,急躁圆筒式刻蚀机,湿法刻蚀工艺芯片厂先暂吧,它极限4—5微米,早呢。

讨论完纷纷走议室。

王海华走,叫住凌世哲办公室。

给二,王海华:“凌,应该使圆筒式刻蚀机方案,icp方案,虽icp比圆筒式优势,太复杂。”

王海华微微责备思,跟凌志高很深,凌世哲晚辈,声叔,香港毕业,念物理系,王海华物理系主任,凌世哲算,虽课,才敢话。换

凌世哲苦笑摇头,吗,圆筒式刻蚀机拿进入工厂进产使次性吃,结果,吊

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“教授,圆筒式刻蚀机方案?”

校读书系,观察,虽,什新型陶瓷,电脑相机套新型工艺,刚才张图,设计。”

凌世哲话,张图资料设计世带,誊写

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