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五十章 离注入机

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“世哲!”凌世哲听李莉,正站公路边辆汽车旁。

李莉该怎元旦直住新收二房原配找虚。

**徒,甚至处包**变坏资格鄙夷见李莉站远处车旁静静,凌世哲羞愧头。

李莉慢慢:“世哲,候回,阿姨爱吃菜,等吃饭呢。”

李莉话,凌世哲更羞愧容,眼睛,:“李莉,。”

李莉眼泪瞬间彪,哭眼泪收:“世哲,记吃饭。”

完,李莉转身走:“世哲,带回吗?”

已经知赵晓芸凌世哲往邵氏影城旁边别墅跑,做任何掩饰,李莉很快闹,接受切,白世界始终世界,香港更此,哪怕婚姻法此,默默接受。

凌世哲叹口气,回公司,找档次茶餐厅坐间差浅水湾别墅。

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“凌少,请重新设计注入机机,目错,它测试问题,定型,凌少加拿工厂很快。”

凌世哲浅水湾别墅矛盾已揭重新回正常活,每隔几新别墅住两

离香港安布雷拉工艺实验室考察离注入设备斯托弗报告,离注入设备已经研功。负责解理工邱明教授,际离权威,台高注入机斯托弗

注入机晶元加工掺杂设备。

掺杂控数量需杂质掺入晶元特定区域内,改变半导体。简单晶元被刻蚀机刻晶体管半,掺入杂质,使晶体管合格晶体管。

芯片制程工艺,芯片原料晶元晶体管,它投影光刻、刻蚀、掺杂才形

具体芯片工厂先芯片设计师设计芯片图首先制程芯片电路光刻板,交给光刻机晶元片投影曝光,晶圆片涂抹光刻胶感光剂,经显影工序,晶圆片芯片电路图;交给刻蚀机电路图给刻蚀

复杂工序,晶圆片高倍显微镜晶体管雏形,晶体管形状,具备晶体管任何功掺杂才真正晶体管。

晶元掺入磷或其五价元素n型半导体;掺入硼或其三价元素p型半导体。

句话,掺入杂质晶圆片晶体管。

半导体芯片肉眼见,高倍显微镜晶体管制造

问,芯片几万甚至几亿晶体管晶体管做,甚至达纳米级,晶体管按?实际晶体管光刻工艺刻蚀并掺杂微米级、纳米级芯片,指芯片晶体管间距,指晶体管,晶体管间距越,相芯片晶体管数量。晶体管间布满间线,晶体管给连接

凌世哲接邱明递数据记录资料,翻注入机记录,加工产品品质记录等等,显微镜加工品,产品检测报告,感非常,问:“应该达商业应吧?”

邱明回答:“问题,结构优化商业化产,凌少,半导体掺杂扩散法掺杂工艺,注入机进掺杂60代才技术熟。台离注入机技术完全熟,机构简单、体积,保养、维护、维修简单方便,掺杂品质,标靶精度高,跟掺杂方式比优势。”

“掺杂退火退火工艺?”

注入掺杂技术缺,晶格造损伤,因此注入退火处理消除缺陷。

束退火工艺,试验激光退火工艺,与激光退火相比,电束退火束班均匀性较量转换效率50%,激光退火1%,比它高。”

束退火束照射半导体表,使其注入层极短间内达很高温度,消除损伤。它加热程进非常快速,加热仅仅限层,因减少某

技术吗?”

熟,完全熟。”邱明回答,脸充满继续:“凌少,离注入束退火整套工艺,全部采化处理,减轻工强度,整套设备轻松,设备相靠。”

,太套设备,芯片本将幅降低,品率幅提高,产效率倍增加。什定型产?”经间,投入资金,终果,凌世哲始迫及待设备投入使

邱明回答问题,副欲言,凌世哲很快注,问:“怎,邱教授?”

,邱明回答,:“凌少,套设备投入产使加拿芯片工厂安装台进实验性实际使效果何,合适修改完善,凌少候,再次芯片工厂升级8微米制程工艺吗?整整间,检验套设备完全够工厂升级安装完?“

凌世哲:“建议,邱教授,根据摩尔定律,半导体技术18月集电路才增加倍,虽公司已经早早8微米甚至7微米工艺研究,始升级~~~~估计。”

,凌少做,建立工艺实验性工厂,专门8微米制程工艺研究,等技术8微米套工艺安装芯片工厂,等8微米工艺工厂任何问题,工厂产线升级8微米制程工艺,型实验性工厂始进7微米工艺研,凌少?”

凌世哲仔细按照办法,很适合半导体规律,打比方,工艺实验室研究8微米制程技术,拿实验性工厂产,8微米芯片批量市销售,由产量,刚刚试试市场反应,价格高,先期收回部分研投入。

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实验室工厂问题转入座标准型工厂进产,候市场8微米供货量加,价格调部分,完全已经接受8微米芯片。工厂加入8微米芯片产,规模铺货。

接受,根据市场需求芯片进改进,新诞芯片符合市场造规模滞销,规模亏本,滞销极规模,因进入标准工厂,试验工厂已经反映新芯片底符符合市场需求,符合规模产,符合叫停,并将芯片进改进,反正试验工厂嘛,损失够承受,再芯片进便宜处理嘛,亏损

关节,凌世哲邱明提议。

参观完注入设备,凌世哲参观试验项目,特别分布式光刻机电耦合高等离体刻蚀机,刻蚀机研究室王海华斯托弗。

房间电缆机器设备,王海华斯托弗站推仪器间,周围十安布雷拉公司工程师,进进

凌世哲,两力全仪器,克斯托弗张工艺图,仪器遍,:“王,思路问题,方向,设计问题,硬件环境求,办法硬件达求,机器才公司使标准。”

王海华知斯托弗:“试试思路。”

,王,正确思路,别问题,,boss技术,已经找解决办法,已经做数遍试验,证明其正确性,科技水平太低,求罢直沿条路走试图找别路。”克斯托弗指资料

旁边名工程师转身凌世哲喊:“boss。”

斯托弗王海转身,凌世哲笑:“份暂替代方案,。”

公文包,凌世哲厚厚资料袋,交给二

王海文接资料袋并凌世哲:“凌少,方,走,办公室

进进方,凌世哲头。

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